信息概要

晶圆传输机器人颗粒污染测试（≤10颗/片）是针对半导体制造过程中使用的晶圆传输机器人进行的一项关键检测服务。该测试旨在确保机器人在传输晶圆时产生的颗粒污染控制在极低水平（每片晶圆不超过10颗颗粒），从而保障晶圆的洁净度和产品质量。在半导体制造中，即使是微小的颗粒污染也可能导致芯片性能下降或失效，因此这项检测对于提高生产良率和产品可靠性至关重要。

本检测服务由第三方检测机构提供，采用国际认可的测试方法和先进设备，确保检测结果的准确性和性。通过严格的颗粒污染测试，可以帮助企业优化机器人性能，降低生产风险，并满足行业标准和客户要求。

检测项目

• 颗粒数量统计
• 颗粒尺寸分布
• 颗粒成分分析
• 表面洁净度评估
• 静态颗粒释放量
• 动态颗粒释放量
• 机器人手臂运动轨迹分析
• 末端执行器接触力测试
• 真空吸附系统泄漏检测
• 气流扰动评估
• 静电放电测试
• 材料放气率检测
• 机器人运行速度对颗粒影响
• 加速度对颗粒释放影响
• 环境温湿度影响测试
• 连续运行稳定性测试
• 振动对颗粒释放影响
• 机器人表面材质评估
• 润滑剂挥发物检测
• 清洁周期验证

检测范围

• 大气型晶圆传输机器人
• 真空型晶圆传输机器人
• 单臂传输机器人
• 双臂传输机器人
• 轨道式传输机器人
• 悬臂式传输机器人
• SCARA型传输机器人
• 直角坐标型传输机器人
• 洁净室专用传输机器人
• 300mm晶圆传输机器人
• 200mm晶圆传输机器人
• 450mm晶圆传输机器人
• 前端开启式传输机器人
• 后端开启式传输机器人
• 晶圆预对准机器人
• 晶圆翻转机器人
• 晶圆堆叠机器人
• 晶圆分选机器人
• 晶圆检测机器人
• 晶圆清洗机器人

检测方法

• 激光粒子计数器法：使用激光粒子计数器实时监测机器人工作时的颗粒释放
• 表面取样分析法：采用特殊粘性取样片收集表面颗粒后进行显微镜分析
• 气相色谱-质谱联用法：分析挥发性有机物成分及其对颗粒污染的影响
• 扫描电子显微镜法：对收集的颗粒进行高倍率形貌观察和成分分析
• 动态光散射法：测量液体环境中颗粒的尺寸分布
• 静电放电检测法：评估静电放电导致的颗粒释放情况
• 振动分析法：监测机器人运动时的振动对颗粒释放的影响
• 气流可视化法：使用烟雾或粒子示踪技术观察机器人周围气流模式
• 加速磨损试验法：模拟长期使用后材料磨损导致的颗粒增加情况
• 热脱附分析法：检测材料在高温条件下的颗粒释放特性
• 声发射检测法：通过声波信号分析颗粒脱落过程
• 红外热成像法：检测机器人各部位温度分布对颗粒释放的影响
• 摩擦系数测试法：评估接触部件摩擦特性与颗粒产生的关系
• 材料放气率测试法：测定机器人材料在真空条件下的放气特性
• 洁净度对比法：在不同洁净度环境下测试机器人颗粒释放差异

检测仪器

• 激光粒子计数器
• 扫描电子显微镜
• 能谱分析仪
• 气相色谱-质谱联用仪
• 动态光散射仪
• 静电计
• 振动分析仪
• 高速摄像机
• 红外热像仪
• 摩擦系数测试仪
• 声发射检测系统
• 真空放气率测试系统
• 表面粗糙度测量仪
• 环境参数监测系统
• 颗粒采样器

了解中析

实验室仪器

合作客户