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中析检测

3D形貌测量测试试验

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更新时间:2025-05-30  /
咨询工程师

信息概要

3D形貌测量测试是通过高精度仪器对产品表面形貌、三维结构及微观特征进行定量化分析的检测技术,广泛应用于精密制造、电子元件、材料科学等领域。检测可确保产品表面质量、尺寸精度及功能性能符合设计标准,对提升产品可靠性、优化生产工艺及避免潜在失效风险具有重要意义。

检测项目

  • 表面粗糙度
  • 三维轮廓高度
  • 局部曲率分布
  • 平面度偏差
  • 台阶高度测量
  • 微观凹陷深度
  • 纹理方向性分析
  • 峰值与谷值间距
  • 表面斜率梯度
  • 接触面积占比
  • 磨损痕迹量化
  • 涂层厚度均匀性
  • 孔隙率统计
  • 边缘锐度评估
  • 光反射一致性
  • 形貌对称性检测
  • 表面波纹度
  • 微观划痕长度与密度
  • 材料堆积高度
  • 形变恢复率

检测范围

  • 半导体晶圆
  • 光学透镜
  • 精密模具
  • 金属切削刀具
  • 陶瓷基板
  • 高分子薄膜
  • 电子封装材料
  • 机械轴承
  • 增材制造零件
  • 微机电系统(MEMS)
  • 生物医学植入体
  • 复合材料表面
  • 纳米涂层
  • 汽车发动机部件
  • 太阳能电池板
  • PCB电路板
  • 航空航天结构件
  • 注塑成型制品
  • 金属3D打印件
  • 微型传感器元件

检测方法

  • 白光干涉仪法:利用光波干涉原理测量微观形貌
  • 激光扫描共聚焦显微镜:通过焦点层析获取三维数据
  • 原子力显微镜(AFM):纳米级表面特征扫描技术
  • 结构光投影法:基于光栅投影的三维重构
  • 相位测量偏折术:分析光线偏折角度推算形貌
  • 数字全息显微术:通过全息图像重建三维结构
  • 聚焦离子束(FIB)切片分析:截面形貌准确测量
  • 光学轮廓仪法:非接触式快速扫描技术
  • 激光三角测量法:基于激光位移的轮廓重构
  • X射线断层扫描(CT):内部三维结构无损检测
  • 电子束探针法:高真空环境下的表面探测
  • 莫尔条纹分析法:光栅干涉形貌测量
  • 触针式轮廓仪:接触式机械扫描测量
  • 多光谱成像分析:结合光谱信息的形貌解析
  • 频闪照明三维重建:动态表面形貌捕捉技术

检测方法

  • 三维激光扫描仪
  • 白光干涉三维形貌仪
  • 原子力显微镜系统
  • 共聚焦激光显微镜
  • 工业CT扫描设备
  • 数字全息显微镜
  • 光学轮廓测量仪
  • 激光位移传感器阵列
  • 结构光三维扫描系统
  • 电子扫描探针台
  • 纳米压痕仪
  • 频闪同步测量装置
  • 多光谱成像系统
  • 六轴联动测量机器人
  • 高精度转台扫描仪

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